Det taiwanesiska företaget, nionde högst värderade börsbolaget i världen, gjorde en kvartalsvinst på 500 miljarder taiwanesiska dollar, motsvarande 155 miljarder kronor, vilket var starkare än analytikernas vinstprognoser.
Intäkterna steg med 30 procent till 990 miljarder taiwanesiska dollar.
TSMC är världens största tillverkare av datachip och har bland annat Nvidia och Apple som kunder.