Bolaget är Europas just nu högst värderade och på kundlistan finns bolag som TSM, Intel, Samsung och Open AI.
Orderingången landade på 5,4 miljarder euro det senaste kvartalet, analytiker hade räknat med 4,9 miljarder euro, enligt Bloombergs sammanställning.
Eftersom ASML:s maskiner används för att göra chip till AI gynnas bolaget av att många företag nu storsatsar på tekniken. Aktien har rusat med 25 procent hittills i år.