Med investeringen, motsvarande drygt 14 miljarder kronor, blir ASML den största aktieägaren i Mistral med 11 procent ägarandel, enligt ett uttalande från företagen.
ASML:s vd Christophe Fouquet säger att affärens främsta syfte är att integrera AI inom företaget snarare än att bygga upp en europeisk AI-utmanare.
–Vi vill översvämma hela ASML:s organisation med AI, säger Fouquet i en intervju.